要是液壓系統中使用到電液伺服閥，伺服閥得沖洗板要使油液能從供油管路流向集流器，并直接返回油箱，這樣可以讓油液反復流通，以沖洗系統，讓油濾濾掉固體顆粒，沖洗過程中，沒隔1～2小時要檢查一下油濾，以防油濾被污染物堵塞，此時旁路不要打開，若是發現油濾開始堵塞就馬上換油濾。
沖洗的周期由系統的構造和系統污染程度來決定，若過濾介質的試樣沒有或是很少外來污染物，則裝上新的油濾，卸下沖洗板，裝上閥工作!
有計劃的維護：建立系統定期維護制度，對液壓系統較好的維護制度建議如下：
1)至多500小時或是三個月就要檢查和更換油濾。
2)定期沖洗油泵的進口油濾。
3)檢查液壓油被酸化或其他污染物污染情況，液壓油的氣味可以大致鑒別是否變質。
4)修護好系統中的泄漏。
5)確保沒有外來顆粒從油箱的通氣蓋、油濾的塞座、回油管路的密封墊圈以及油箱其他開口處進入油箱。
一般來說，液壓系統在正式投入之前一般都要經過沖洗，沖洗的目的就是要清除殘留在系統內的污染物、金屬屑、纖維化合物、鐵心等，在最初兩小時工作中，即使沒有完全損壞系統，也會引起一系列故障。所以應該按下列步驟來清
洗系統油路：
1)用一種易干的清潔溶劑清洗油箱，再用經過過濾的空氣清除溶劑殘渣。
2)清洗系統全部管路，某些情況下需要把管路和接頭進行浸漬。
3)在管路中裝油濾，以保護閥的供油管路和壓力管路。
4)在集流器上裝一塊沖洗板以代替精密閥，如電液伺服閥等。
5)檢查所有管路尺寸是否合適，連接是否正確。
